手動探針臺LNP-3RT
相關附件
手動探針臺LNP-3RT特點
探針臺材質升級:主體材質航空級鋁材;卡盤材質不銹鋼(可選鍍金),具備更小的接觸電阻,更低的漏電流;
探針臺臺體升級:自適應減震臺體,帶標準地線,防止靜電干擾;
標配精度高:卡盤X-Y行程精度1um,探針X-Y-Z行程精度1um;
快速升降操作:卡盤快速升降,便于快速分離探針;顯微鏡氣動升降,便于更換物鏡和探針卡夾具;
標配氣浮式位移臺:有效隔振,確保移動過程平穩,有效提升位移扎針精度;?
多種卡盤可選:可選配高低溫載片臺系統,同軸/三軸/鍍金卡盤可供選擇,滿足不同預算和多種應用場景需求;
針座平臺升級:全新表面處理工藝,相比鍍鉻針座吸附力更強,提高測試精度,還可安裝探針夾具,兼容探針卡測試;
多種探針座可選:不同調節精度(0.5um/0.7um/1um)針座可選,DC直流或RF射頻探針座可選;
自帶完整高清成像系統:多種類型顯微鏡可選,帶高清CCD成像系統,可拍照,錄像,標尺,可連接顯示器實時觀察;
快速拓展功能:可選配激光器進行失效分析/激光切割/激光打標;
手動探針臺技術參數:
設備型號 | LNP-3RT |
卡盤大小 | 8英寸(可定制) |
卡盤X-Y行程 | 200mm x 200mm |
卡盤X-Y精度 | 1um |
氣浮X-Y位移臺 | 標配 |
卡盤Z軸行程 | 快速升降5mm,微調6mm |
卡盤旋轉角度 | 粗調360°,精調±5° |
探針X-Y-Z行程 | 12.5mm-12.5mm-12.5mm |
探針X-Y-Z行程精度 | 1um |
顯微鏡X-Y行程 | 2 英寸x 2 英寸 |
顯微鏡快速升降 | 快速升降50mm |
顯微鏡類型 | 體式顯微鏡/正像顯微鏡/金相顯微鏡 |
CCD相機 | 2K清晰度(可拍照,錄像,標尺) |
探針座數量 | 最多6個(可定制) |
卡盤吸附形式 | 環形或多孔真空吸附環 |
針座吸附方式 | 磁力吸附 |
應用對象:晶圓(Si/Ge/GaAs/InP/SiC/GaN等)、芯片(邏輯/數字/模擬/存儲等)、集成電路、顯示面板(LED/OLED/LCD等)、功率器件(IGBT、MOSFET等)、納米器件、光電器件、分立器件(二極管、三極管、場晶體管等)、太陽能電池等;
應用方向:DC 直流/(IV、CV、漏電流)測試、介電溫譜測試、FA失效分析測試、器件表征測試、芯片線路測試、MEMS微型機電系統測試、集成電路工程、PCB元器件、WLR晶圓級可靠性、老化測試、RF 射頻測試、高精度電流(100fA 級)測試、高功率/大電流/高電壓測試、光電測試、1/f 噪聲測試等。
手動探針臺聯用儀器:源表/數字電橋/半導體參數分析儀/數字萬用表/示波器/網絡分析儀/頻譜分析儀/阻抗分析儀等,根據需求提供聯用方案!
相關產品
在線留言
WRITE A MESSAGE TO US

關注官方客服微信號
或者搜索“嘉儀通科技”
更多精彩等著你!
電話:
027-87002686
15527275956 商務部周女士
18696109905 商務部鄒女士
郵箱:
sales@jouleyacht.net
地址:湖北省武漢市東湖新技術開發區999號未來科技城C區C4棟11樓
Copyright ? 2021 武漢嘉儀通科技有限公司 鄂ICP備13008735號-1

















